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晶体硅太阳能电池-半导体及太阳能电池生产工艺-单元化工艺-硅片清洗制绒工艺流程及其工艺参数

序号	工序	辅助	处理液	时间	温度	材质	自动盖	循环	抽风	整理人	校对人
1	自动上料处理									张哲先	万发荣
2	去损伤层	鼓泡	NaOH	7min	60~90℃	SUS316	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
3	温水隔离	鼓泡	DI水	7min	50℃	PP	-	-	-	张哲先	万发荣
4	单晶绒面	鼓泡	碱液	25min	60~90℃	SUS316	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
5	单晶绒面	鼓泡	碱液	26min	60~91℃	SUS316	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
6	单晶绒面	鼓泡	碱液	27min	60~92℃	SUS316	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
7	单晶绒面	鼓泡	碱液	28min	60~93℃	SUS316	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
8	喷淋/多晶	鼓泡	DI水酸液	7min	50℃	PP	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
9	清洗/多晶	鼓泡	DI水酸液	8min	51℃	PP	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
10	HCl/多晶	鼓泡	DI水酸液	25min	RT	PP	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
11	清洗/多晶	鼓泡	DI水酸液	26min	RT	PP	自动盖	-	有	张哲先	万发荣
12	HF处理	鼓泡	HF	7min	RT	PP	-	-	有	张哲先	万发荣
13	纯水喷淋	-	DI水	7min	RT	PP	-	-	-	张哲先	万发荣
14	纯水清洗	鼓泡	DI水	7min	RT	PP	-	-	-	张哲先	万发荣
15	预脱水	-	DI水	7min	RT	PP	-	-	-	张哲先	万发荣

来源：

1.光伏发电与并网技术王光裕中国电力出版社2010 p121

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